pp. 343-350
S&M454 Research Paper of Special Issue Published: 2001 Monte Carlo Simulation of Wet Chemical Etching of Silicon [PDF] Erik van Veenendaal, Jaap van Suchtelen, Paul van Beurden, Herma M. Cuppen, Willem J. P. van Enckevort, A. Jasper Nijdam, Miko Elwenspoek and Elias Vlieg Cite this article Erik van Veenendaal, Jaap van Suchtelen, Paul van Beurden, Herma M. Cuppen, Willem J. P. van Enckevort, A. Jasper Nijdam, Miko Elwenspoek and Elias Vlieg, Monte Carlo Simulation of Wet Chemical Etching of Silicon, Sens. Mater., Vol. 13, No. 6, 2001, p. 343-350. |